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本发明的等离子体工序监控装置包括选择区域透光部及监控部。选择区域透光部以与形成于腔室的视口相向的方式配置，设置有用于选择性地阻隔通过视口发射的等离子光的多个选择性遮光部。监控部通过接收透过多个选择性遮光部中的至少一个的等离子光，来获取等离子...
该专利属于延世大学校产学协力团所有，仅供学习研究参考，未经过延世大学校产学协力团授权不得商用。

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