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本文描述了一种加固型晶片级微机电(“MEMS”)力传感器，其包括基部和盖。MEMS力传感器包括柔性膜和感测元件。感测元件电连接到设置在与感测元件相同的衬底上的集成互补金属氧化物半导体(“CMOS”)电路。CMOS电路可被配置成通过电端子将力...
该专利属于触控解决方案股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过触控解决方案股份有限公司授权不得商用。

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