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光侦测元件制造技术
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文档序号:22646989
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本发明一实施例提供一种利用金属半导体界面的光侦测元件,可应用于红外光的侦测。在另一实施例,该光侦测元件导入局域表面等离子体共振结构,以提升元件的光电响应与侦测波长范围。该光侦测元件可应用于测量各种入射光强度与测量可见光至中红外光波段(300...
该专利属于林清富所有,仅供学习研究参考,未经过林清富授权不得商用。
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