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本申请公开了一种软X射线光源，包括真空靶室、制冷腔和喷嘴，制冷腔和喷嘴容置于真空靶室内，喷嘴设置于制冷腔上，支撑板设置于真空靶室上，支撑板上设置有穿过支撑板的制冷剂入口管道、制冷剂出口管道和工作气体管道，制冷剂入口管道和制冷剂出口管道分别与...
该专利属于苏州瑞派宁科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州瑞派宁科技有限公司授权不得商用。

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