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基于碲化铋-石墨烯异质结的太赫兹探测器及其制备方法技术
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下载基于碲化铋-石墨烯异质结的太赫兹探测器及其制备方法的技术资料
文档序号:22596591
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一种基于碲化铋‑石墨烯异质结的太赫兹波探测器及其制备方法,属于太赫兹波探测器件技术领域。所述探测器包括半导体衬底,形成于半导体衬底之上的绝缘层,形成于绝缘层之上的由石墨烯和碲化铋层组成的异质结,位于异质结两端的源极和漏极,以及形成于半导体衬...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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