下载一种有序铁电拓扑畴结构阵列的制备方法的技术资料

文档序号:22596529

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本发明涉及一种有序铁电拓扑畴结构阵列的制备方法,其包括以下步骤:S1:采用脉冲激光沉积法在(001)方向的STO单晶衬底上沉积一层SRO导电层作为底电极;S2:选择Zr:Ti=7:3的PZT靶材,采用脉冲激光沉积法在SRO导电层上沉积一层菱...
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