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本文公开了利用氢自由基的设备和其使用方法，具体公开了在单个处理室内从衬底去除碳类污染物和氧类污染物的反应器系统，包括：包括内表面的反应室；耦接到所述反应室的远程等离子体源；和耦接到所述远程等离子体源的氢源，其中所述内表面的至少一部分包括金属...
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