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信息处理装置制造方法及图纸
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文档序号:22570842
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本发明提供一种信息处理装置,该信息处理装置具备控制装置,该控制装置具有:取得部,按时间顺序取得表示向通过多个电极间的放电而产生等离子体的等离子体产生装置的多个电极供给的电流的指标值;判断部,判断由取得部取得的指标值是否满足设定条件;及报告部...
该专利属于株式会社富士所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社富士授权不得商用。
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