下载一种铁电场效应晶体管及其制备方法的技术资料

文档序号:22567109

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本发明公开了一种铁电场效应晶体管,包括:衬底层、栅绝缘层、第一缓冲层、中间介质层、第二缓冲层、栅电极层、源电极及漏电极;衬底层设置有源极区、漏极区和绝缘覆盖区,其中源极区与漏极区间隔设置;源极区上设置有源电极,漏极区上设置有漏电极,且绝缘覆...
该专利属于湘潭大学所有,仅供学习研究参考,未经过湘潭大学授权不得商用。

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