下载集成ESD保护的屏蔽栅沟槽MOSFET及制造方法的技术资料

文档序号:22567037

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本发明公开一种集成ESD保护的屏蔽栅沟槽MOSFET及制造方法,其以两层多晶硅、更低成本的方法制程实现,在本发明形成MOSFET屏蔽栅的多晶硅,和形成MOSFET的ESD保护二极管的多晶硅,是同一层多晶硅(第一层多晶硅),而形成MOSFET...
该专利属于深圳市芯电元科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市芯电元科技有限公司授权不得商用。

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