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武汉华星光电技术有限公司
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指纹识别模组及其制备方法、相关装置制造方法及图纸
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文档序号:22565535
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本发明实施例公开了一种指纹识别模组及其制备方法、相关装置,指纹识别模组包括感光薄膜晶体管基板,感光薄膜晶体管基板包括衬底基板、栅极层、导电层和用于感光的铁电材料层;栅极层位于衬底基板之上;铁电材料层位于栅极层之上,铁电材料层在衬底基板上的投...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。
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