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形成微镜头阵列的方法以及光遮罩技术
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下载形成微镜头阵列的方法以及光遮罩的技术资料
文档序号:22563929
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一种形成微镜头阵列的方法。根据此方法,形成了硬遮罩层。通过光遮罩于硬遮罩层执行光刻程序,以形成第一图案以及第二图案。之后,热回流第一图案以及第二图案,以分别形成第一透镜结构以及第二透镜结构。光遮罩包括第一图案区段以及第二图案区段,且第二图案...
该专利属于采钰科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过采钰科技股份有限公司授权不得商用。
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