下载形成微镜头阵列的方法以及光遮罩的技术资料

文档序号:22563929

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种形成微镜头阵列的方法。根据此方法,形成了硬遮罩层。通过光遮罩于硬遮罩层执行光刻程序,以形成第一图案以及第二图案。之后,热回流第一图案以及第二图案,以分别形成第一透镜结构以及第二透镜结构。光遮罩包括第一图案区段以及第二图案区段,且第二图案...
该专利属于采钰科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过采钰科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。