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本实用新型公开了一种基于二氧化硅平面光波导的2×2集成光开关，包括：硅基衬底；覆盖于所述硅基衬底上的二氧化硅缓冲层；折射率高于所述二氧化硅缓冲层，并镀在所述二氧化硅缓冲层上的二氧化硅芯层；覆盖于所述二氧化硅芯层上的二氧化硅上包层。其中，所述...
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