下载AlN晶须的制造方法和制造装置、AlN晶须结构体和AlN晶须以及树脂成型体和其制造方法的技术资料

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本发明的目的在于提供实现了抑制金属粒子的混入的AlN晶须的制造方法和制造装置、AlN晶须结构体和AlN晶须以及树脂成型体和其制造方法。该AlN晶须的制造方法中,在材料收容部(1200)的内部对含Al材料进行加热而产生Al气体,从连通部(12...
该专利属于国立大学法人名古屋大学所有,仅供学习研究参考,未经过国立大学法人名古屋大学授权不得商用。

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