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本发明涉及一种基于表面等离子体激元波导结构的微驱动器，其结构包括表面等离子体激元波导层和驱动臂层两部分。其中，表面等离子体激元波导层含有表面等离子体激元波导结构和光热转换区域；表面等离子体激元波导层和驱动臂层两层或者多层以叠层的形式组合而成...
该专利属于南京邮电大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京邮电大学授权不得商用。

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