下载一种精准的残余气体质谱分析系统的技术资料

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本实用新型涉及一种精准的残余气体质谱分析系统,包括前级泵、分子泵、质谱仪、操作平台,所述前级泵位于操作平台一侧,前级泵和质谱仪前级出口连接,所述分子泵安装在操作平台上,所述质谱仪和分子泵连接并且位于分子泵上方,质谱仪前端和分子泵之间还设有气...
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