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压电式流体控制阀制造技术
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文档序号:2247651
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一种常开型压电型式流体控制阀,在受到开阀方向的弹性力作用的隔膜阀11与阀簧机构25之间配置通过加电压而伸长的压电元件层压体20,使该压电元件层压体20伸长时的应变量a比隔膜阀11的开闭行程b大,并根据其差c使弹簧座28离开第2限动部30地设...
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