下载流量控制装置的技术资料

文档序号:2247476

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在本发明的流量控制装置(1)中,作为对于阀体(6)的驱动源而使用步进电动机(30)。另外,在阀体(6)上构成有大流量控制用阀体(61)、形成阀孔(620)的环状的密封构件(62)、小流量控制用阀体(63)和螺旋弹簧(64),在小流量区域中,...
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