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流量控制装置制造方法及图纸
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下载流量控制装置的技术资料
文档序号:2247476
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在本发明的流量控制装置(1)中,作为对于阀体(6)的驱动源而使用步进电动机(30)。另外,在阀体(6)上构成有大流量控制用阀体(61)、形成阀孔(620)的环状的密封构件(62)、小流量控制用阀体(63)和螺旋弹簧(64),在小流量区域中,...
该专利属于日本电产三协株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本电产三协株式会社授权不得商用。
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