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本发明的课题是提供能够低温固化，保存稳定性和分辨率优异，能够抑制显影残渣，可以获得硬度高，耐化学品性、基板密合性优异的固化膜的感光性硅氧烷树脂组合物。本发明是一种感光性硅氧烷树脂组合物，其含有：(A)聚硅氧烷、(B)光自由基聚合引发剂、(C...
该专利属于东丽株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东丽株式会社授权不得商用。

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