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差压传感器芯片、差压发送器以及差压传感器芯片的制造方法技术
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文档序号:22472273
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差压传感器芯片(2)包括:第1以及第2压力导入孔(21_1、21_2);第1以及第2膜片(23_1、23_2),其覆盖第1以及第2压力导入孔地形成;凹状的第1以及第2凹部(24_1、24_2),其隔着第1以及第2膜片而与第1以及第2压力导入...
该专利属于阿自倍尔株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过阿自倍尔株式会社授权不得商用。
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