下载差压传感器芯片、差压发送器以及差压传感器芯片的制造方法的技术资料

文档序号:22472273

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

差压传感器芯片(2)包括:第1以及第2压力导入孔(21_1、21_2);第1以及第2膜片(23_1、23_2),其覆盖第1以及第2压力导入孔地形成;凹状的第1以及第2凹部(24_1、24_2),其隔着第1以及第2膜片而与第1以及第2压力导入...
该专利属于阿自倍尔株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过阿自倍尔株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。