下载叠层传感器装置及其制造方法的技术资料

文档序号:22472269

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一种传感器装置包括:具有顶层、底层和至少一个中间层的第一个多层,上述中间层具有电导体层,顶层、底层和至少一个中间层中的每一个被设置成与相应的相邻层直接接触。第二个多层被设置成与第一个多层直接接触,使得第二个多层的底层被设置成与第一个多层的顶...
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