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一种IGBT器件结构制造技术
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下载一种IGBT器件结构的技术资料
文档序号:22469812
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本发明公开了功率半导体器件技术领域的一种IGBT器件结构,旨在解决现有技术中采用虚拟沟槽栅结构的IGBT器件关断时,沟槽区域下方积累的载流子浓度过低,导致器件的通态压降无法降低,以及随着虚拟沟槽的宽度被设计得越来越窄,增加了从虚拟沟槽多晶硅...
该专利属于国电南瑞科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过国电南瑞科技股份有限公司授权不得商用。
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