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功率半导体部件与基底经烧结彼此连接的压力烧结方法技术
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下载功率半导体部件与基底经烧结彼此连接的压力烧结方法的技术资料
文档序号:22469649
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本发明涉及功率半导体部件与基底经烧结彼此连接的压力烧结方法,具有以下接连步骤:a)提供烧结部件布置,具有:工件载体,具有凹部;基底,搁置在工件载体的主表面上,功率半导体部件布置在基底上,其中待烧结的烧结材料布置在功率半导体部件和基底之间,其...
该专利属于赛米控电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过赛米控电子股份有限公司授权不得商用。
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