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本发明提供一种阀，这种阀能够与旨在实现真空排气系统的设备的小型化并由此降低成本和缩短真空排气时间的真空排气系统配管的小口径化相适应，并能够防止由气体分解产生的离解生成物的堆积所导致的内部的腐蚀、堵塞、阀座泄漏等。具体地说，将铝钝态用于在真空...
该专利属于株式会社富士金;大见忠弘所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社富士金;大见忠弘授权不得商用。

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