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利用基本物理理论，提供了一种用多层软光刻法制作微流体阀的设计和方法。根据本发明的阀的实施例以具有基本恒定厚度的弹性体隔膜部分为特征，使得隔膜承受与在其整个宽度上施加的压力类似的阻力。这种由可以向上或向下偏移的隔膜制作的开关阀能够具有非常低的...
该专利属于加州理工学院所有，仅供学习研究参考，未经过加州理工学院授权不得商用。

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