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用于太赫兹芯片测试的测试系统及其杜瓦组件技术方案
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下载用于太赫兹芯片测试的测试系统及其杜瓦组件的技术资料
文档序号:22454637
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本实用新型涉及太赫兹芯片测试领域领域,提供了一种用于太赫兹芯片测试的杜瓦组件,包括测试太赫兹芯片的冷头单元以及用于配合制冷机制备冷源并将冷源输出至冷头单元的冷指单元,所述冷头单元包括用于安置太赫兹芯片的芯片工装以及可传导冷指单元制备的冷源的...
该专利属于武汉高德红外股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉高德红外股份有限公司授权不得商用。
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