下载闭循环液氦制冷机的机械隔离式震动屏蔽系统的技术资料

文档序号:22432510

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本实用新型公开了闭循环液氦制冷机的机械隔离式震动屏蔽系统,所述闭循环液氦制冷机包括有依次连接的一级冷头、二级冷头,所述屏蔽系统包括有新冷头结构、固定冷屏组件、活动冷屏组件和真空隔振结构。真空隔振结构包括有柔性波纹管柔性橡胶支撑管;新冷头结构...
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