下载双极性三极管器件的技术资料

文档序号:22410181

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本实用新型公开了一种双极性三极管器件,该双极性三极管器件包括衬底、外延层和双极性三极管;双极性三极管包括:由轻掺杂的N‑型单晶硅外延层组成的集电区;由掺杂碳原子的P型单晶硅锗合金组成的基区,P型单晶硅锗合金中锗的含量沿第一方向由零递增至第一...
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