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本实用新型属于磁控溅射技术领域，尤其涉及一种磁控溅射镀膜机，包括热温镀膜装置、冷温镀膜装置、供料卸料装置和中转搬送装置。该磁控溅射镀膜机可以在‑100～800℃的温度范围内选择任意温度进行磁控溅射，从而极大地提高待镀膜物料磁控溅射的作业温度...
该专利属于爱发科豪威光电薄膜科技(深圳)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过爱发科豪威光电薄膜科技(深圳)有限公司授权不得商用。

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