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根据本发明的实施方式的探针卡被设置成在功能上具有两个探针组装体的组合形式，使得两个探针组装体分别与三维晶片的未安装部件的区域(R1)和安装部件的区域(R2)相对应，并且，在与安装部件的区域相对应的探针组装体侧的第一导向板和空间转换器区域分别...
该专利属于TEPS有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过TEPS有限公司授权不得商用。

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