下载一种洁净室的洁净度控制方法的技术资料

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本发明涉及一种洁净室的洁净度控制方法,通过在洁净室内控制风机过滤机组实现,包括:控制系统通过粒子浓度传感器采集洁净室的洁净度数据;控制系统获取粒子浓度传感器反馈的洁净度数据,根据数据控制风机过滤机组的转速。本发明的有益效果是:实现FUU节能...
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