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本发明公开了基于牛顿下山法的多层悬臂梁材料的薄膜杨氏模量提取方法，借助于多层悬臂梁材料的物理性质并通过计算机辅助设计的算法来测试或分析材料，属于测量、测试以及计算、推算、计数的技术领域。本发明提取的对象是不等宽多晶硅‑金双层悬臂梁模型，使用...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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