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本发明涉及一种测量光学自由曲面的装置，用于测量工件的三维形貌，包括聚焦式激光位移传感器、反射镜、气浮测头、纳米二维位移机构、聚焦式激光位移传感器的信号采集电路、工控机和纳米二维位移机构控制器；气浮测头包括探针、探针轴，反射镜置于探针轴的尾部...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

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