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本发明公开了一种微波镀纳米金刚石薄膜的设备，其中主要由微波发生器、微波发射喇叭、工艺进气管、微波屏蔽层、旋转托盘、水冷系统、真空系统和镀膜壳体组成，其中镀膜壳体是具有密封性能的腔体。工作时，工艺气通过进气管进入微波发射喇叭，利用微波将工艺气...
该专利属于成都道启弘环境科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都道启弘环境科技有限公司授权不得商用。

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