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本发明公开了一种TiO2薄膜的制备方法、光电探测器件及其制备方法，涉及光电检测技术领域。本发明利用在含氧环境下煅烧ALD(原子层逐层沉积的方法)制得的TiO2薄膜，一方面使得TiO2薄膜由非晶向局部单晶转变，形成鱼鳞状的外貌；另一方面减少氧...
该专利属于深圳技术大学所有，仅供学习研究参考，未经过深圳技术大学授权不得商用。

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