下载半导体功率器件的技术资料

文档序号:22351981

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在一般的方面,一种功率半导体器件可包括碳化硅(SiC)衬底以及设置在所述SiC衬底上的SiC外延层。所述器件还可包括设置在所述SiC外延层中的阱区以及设置在所述阱区中的源极区。所述器件还可包括设置在所述SiC外延层中并与所述源极区相邻的栅极...
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