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本发明公开了一种方形螺旋硅漂移探测器及其制备方法，包括正面设有圆形的n+收集阳极、方形螺旋阴极和正面保护环的基片，方形螺旋阴极环绕n+收集阳极分布，且方形螺旋阴极的宽度由内向外逐渐变宽，正面保护环环绕螺旋阴极分布；基片反面设有反面电极、入射...
该专利属于湖南正芯微电子探测器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖南正芯微电子探测器有限公司授权不得商用。

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