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半导体装置制造方法及图纸
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下载半导体装置的技术资料
文档序号:22332204
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提供了一种半导体装置。所述半导体装置包括:第一鳍型图案和第二鳍型图案,从基底突出并且彼此间隔开以在第一方向上延伸;虚设鳍型图案,从基底突出,并位于第一鳍型图案与第二鳍型图案之间;第一栅极结构,在与第一方向交叉的第二方向上延伸,位于第一鳍型图...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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