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自热效应测试结构及方法技术
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文档序号:22329152
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本发明公开了一种自热效应测试结构,该结构包括:第一待测器件(1)、第二待测器件(2)、第三待测器件(3)、第一传感器(4)、第二传感器(5);所述第一待测器件(1)和所述第二待测器件(2)相对于第一传感器(4)呈镜像布置,所述第二待测器件(...
该专利属于北京大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京大学授权不得商用。
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