下载一种自动上下样系统的技术资料

文档序号:22328863

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本发明提供一种自动上下样系统,包括:系统底座;分别独立安装于系统底座上的机械手、取样台以及五维样品台;该五维样品台包括:沿竖直方向叠置的X向调节机构、Z向调节机构、掠入射角Pitch调节机构、滚转角Roll调节机构以及摆角Yaw调节机构;系...
该专利属于中国科学院上海应用物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海应用物理研究所授权不得商用。

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