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用于将薄膜沉积到柔性基底上的系统和方法技术方案
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下载用于将薄膜沉积到柔性基底上的系统和方法的技术资料
文档序号:22326523
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本申请涉及用于将薄膜沉积到柔性基底上的系统和方法,用于将薄膜层沉积到柔性铁磁基底上的系统和方法包括沉积区中的多孔块和嵌入多孔块内的多个磁体。磁体在柔性铁磁基底上提供向下的力,该柔性铁磁基底在多孔块上方例如在卷盘到卷盘系统中被输送。加压气体被...
该专利属于环球太阳能公司所有,仅供学习研究参考,未经过环球太阳能公司授权不得商用。
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