下载一种利用化学气相沉积制备复合材料的装置及方法的技术资料

文档序号:22326511

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本发明公开了一种利用化学气相沉积制备复合材料的装置及方法,装置包括化学气相沉积设备,收集装置和喷雾设备,其中收集装置设置于化学气相沉积设备出料口处;收集装置包括收集面、设置于收集面下方带动收集面进行位移的传动轮以及与传动轮连接的用于驱动传动...
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