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本实用新型公开了一种ITO蚀刻装置，包括操作台和设在操作台上的滑动座、隔离箱和气缸，气缸连接滑动座用于推动滑动座进入隔离箱，滑动座上设用于固定物料的物料台和对物料进行蚀刻的蚀刻机构，隔离箱设一个面开口容许滑动座进入，并且滑动座进入隔离箱之后...
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