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本发明提取一种获取电容反馈式微扭转镜电容反馈信号的方法及电路，解决了微扭转镜电容反馈信号稳定性差的问题，首先将脉冲信号作为驱动信号驱动电容反馈式微扭转镜振动；确保在相邻两组驱动脉冲间隔期间，微扭转镜至少能够自由扭转0.5个周期；其次，提取电...
该专利属于西安知微传感技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安知微传感技术有限公司授权不得商用。

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