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图像传感器的形成方法技术
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文档序号:22297313
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一种图像传感器的形成方法,所述方法包括:提供半导体衬底,所述半导体衬底的表面形成有平坦层;在所述平坦层的表面形成透镜结构,所述透镜结构包含有多个凸透镜,所述凸透镜的材料含有硅元素;采用含有氟离子的刻蚀气体,对所述多个凸透镜进行刻蚀,并在刻蚀...
该专利属于德淮半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过德淮半导体有限公司授权不得商用。
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