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利用角度可变照明的自动对焦制造技术
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下载利用角度可变照明的自动对焦的技术资料
文档序号:22294728
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本发明的各个方面涉及通过角度可变照明来促进测试对象(499)的自动聚焦技术的技术。此处,在多个角度可变照明的几何构型(301,302)捕获图像数据集。评估所捕获的图像数据集以确定Z位置。...
该专利属于卡尔蔡司显微镜有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过卡尔蔡司显微镜有限责任公司授权不得商用。
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