下载一种双头激光振镜系统的技术资料

文档序号:22275746

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本实用新型涉及激光振镜技术领域,公开了一种双头激光振镜系统,包括两个XY振镜模块,两组Z轴动态模块,激光入射孔,Z轴动态模块包括Z轴镜筒,第一通孔,直线导轨,滑座,动态聚焦Z轴装置,动态聚焦Z轴装置上设置有Z轴镜座,动态聚焦Z轴装置靠近激光...
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