下载一种基于新型MIM布拉格光栅的温度传感器的技术资料

文档序号:22268812

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本实用新型公开了一种基于新型MIM布拉格光栅的温度传感器,其特征是,包括自下而上顺序叠接的基底层1和金属层2,所述的金属层2的中部设有纳米腔3,纳米腔3的两个长边界线呈对称的S状,纳米腔3中设有感温介质,金属层2和纳米腔3构成新型MIM布拉...
该专利属于广西师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过广西师范大学授权不得商用。

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