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气体流通池制造技术
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文档序号:22258982
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本发明提供了一种气体流通池,所述气体流通池包括:底座,包括用于放置电极的凹槽;工作模块,安装在底座上,并且工作模块包括:腔体,贯穿工作模块,并具有上部开口和与下部开口,下部开口围绕电极的工作区域设置;第一气体通孔,穿过工作模块的侧壁并与腔体...
该专利属于郑州大学所有,仅供学习研究参考,未经过郑州大学授权不得商用。
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