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本发明提供一种能够精度良好地算出目标开度推断值的目标开度推断器以及压力调整真空阀。目标开度推断器(110)基于压力调整真空阀(1)的阀体(12)的开度和连接压力调整真空阀(1)的真空腔室的压力的相关关系，与当前的开度及压力，来推断真空腔室的...
该专利属于株式会社岛津制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社岛津制作所授权不得商用。

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